專業(yè)分子泵維修分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動的軸承承擔了很大的負荷，正確的使用和及時的保養(yǎng)，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大，分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻、強制風冷和水冷。300l/s以下的分子泵，在沒有氣體負載的情況下，可以采用自然冷卻；較大的分子泵或者有一定的氣體負載時，需要選擇強制風冷（風扇冷卻）；對于有些負載很大的應(yīng)用（比如CVD），或者不方便使用風扇的環(huán)境（如輻射環(huán)境），需要采取水冷，無論采取哪種冷卻方式，分子泵工作的環(huán)境溫度都要保持在5-35攝氏度之間，采取水冷時，要采用經(jīng)過處理的軟水，冷卻水的溫度和流量也要滿足說明書的要求。

分子泵工作時轉(zhuǎn)速很高（數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘），加減速過程中，不可避免的要經(jīng)過某些危險的共振頻率，長時間在這些共振頻率運轉(zhuǎn)，會增加軸承負荷、進而增加分子泵故障的風險。在真空下自然停泵（空擋滑行）時，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉(zhuǎn)一般建議分子泵停機時，手動或者通過專用充氣閥（VentValve），通過充氣口充入空氣/氮氣，增加轉(zhuǎn)子阻力使其快速停機；手動充氣時，要注意控制充氣速度，使停機時間和分子泵啟動時間相當（根據(jù)泵的大小不同而不同，一般為3-10分鐘）。

分子泵出現(xiàn)這樣的情況需要盡快尋找專業(yè)分子泵維修廠家維修分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的機械，軸承故障可能會造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態(tài)不良時，會有一系列的現(xiàn)象，如分子泵無法啟動，運行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環(huán)境和進排氣壓力過高等外界因素后，應(yīng)盡快停泵，送到維修中心進行檢修。