真空分子泵維修性能強(qiáng)大、重量輕且占地面積小。憑借由前級真空側(cè)陶瓷球軸承和高真空側(cè)永磁徑向軸承所組成的混合軸承，HiPace系列渦輪分子泵的軸承非常堅(jiān)固，確保了的可靠性，真空分子泵創(chuàng)新性的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)設(shè)計賦予了該渦輪分子泵諸多優(yōu)點(diǎn)：對小分子氣體的抽吸能力更大、前級真空泵兼容性廣泛、氣流量高以及對小分子氣體的壓縮比比較好。由于可以安裝在任意所需方向，該系列泵具有性價比和靈活性?！霸撓盗袦u輪分子泵具有理想的尺寸功率比。HiPace350和450是300至700l/s吸力級別中結(jié)構(gòu)緊湊的大功率渦輪分子泵，針對小分子氣體具有絕佳的抽吸能力。它的運(yùn)行噪音低，氣體流量大，為真空行業(yè)樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

真空分子泵具有結(jié)構(gòu)緊湊、高氣流量和低能耗等特點(diǎn)。其磁懸浮軸承也被稱為“主動式電磁軸承”，因?yàn)檗D(zhuǎn)子位置一直處在持續(xù)監(jiān)控和實(shí)時調(diào)整之下。同時，自動不平衡補(bǔ)償功能確保轉(zhuǎn)子保持連續(xù)穩(wěn)定的無磨損和低振動運(yùn)行。此外，采用可靠的軸承技術(shù)，無需維護(hù)或油潤滑。隨著粒子加速器技術(shù)要求的不斷提高，分子泵也得到了不間斷的開發(fā)，從而使得各類應(yīng)用都可找到與之匹配的真空定制產(chǎn)品型號。

真空分子泵維修檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞?？梢允褂米约旱墓ぞ咭苿拥镀瑏砼袛嗨欠窨梢孕D(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路，在確認(rèn)機(jī)械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后，如果燈絲仍不能發(fā)射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，請檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路，請更換燈絲。如果沒有，請檢查端子是否與其他連接器連接，以消除短路。