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分子泵使用小技巧

2022-06-22 16:40:35

專業(yè)分子泵維修廠家帕納光電帶大家了解了解分子泵日常使用小技巧。

1.空檔滑行不可取。

當分子泵工作時,轉(zhuǎn)速非常高(數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘)。在加速和減速過程中,不可避免地會經(jīng)歷一些危險的共振頻率。如果在這些共振頻率下長時間運行,軸承負載會增加,從而增加分子泵故障的風險。當泵(空檔滑動)在真空下自然停止時,由于真空下的空氣阻力很小,分子泵轉(zhuǎn)子需要幾十分鐘甚至幾個小時才能完全停止,其中共振頻率運行時間相對較長。

一般建議在分子泵停機時,通過充氣口手動或通過專用充氣閥充入空氣/氮氣,增加轉(zhuǎn)子阻力,使其快速停機;手動充氣時,注意控制充氣速度,使停機時間與分子泵啟動時間相等(一般為3-10分鐘,取決于泵的大小)。

大多數(shù)型號的分子泵還具有電磁制動功能(Activestop),可以在不破空的情況下快速停機。

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2.注意監(jiān)測前級真空。

分子泵是一種高真空泵,必須與合適的前泵配合,性能良好,才能正常工作;分子泵除選擇推薦的前泵外,還應注意監(jiān)測其排氣口的壓力,避免因前泵性能下降而導致分子泵排氣壓力過高,導致負荷過大,泵溫過高。

在這些情況一定要加軸承吹掃。

如果分子泵抽取的氣體含有較多的可凝性氣體(如水蒸氣、有機溶劑等。),高濃度的氧氣、腐蝕性氣體或灰塵等。,需要增加吹掃閥(Purge Vale),并在工作過程中使用吹掃氣體(通常是干燥氮氣)連續(xù)吹掃軸承,以隔離污染物和保護軸承。

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