分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的總稱。它是一種非常常見的設(shè)備，可以獲得高真空和超高真空。分子泵內(nèi)部有一個高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子。支撐轉(zhuǎn)子平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)的軸承承載大量負(fù)荷。正確使用和及時維護(hù)對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常運(yùn)行具有重要意義。專業(yè)分子泵維修廠家帕納光電帶大家了解一下分子泵使用時的注意事項。

盡量避免頻繁啟停：

當(dāng)分子泵以均勻的速度工作時，轉(zhuǎn)子葉片只受離心力的影響（真空阻力很小，可以忽略不計），即遠(yuǎn)離軸向的拉力；在加速和減速過程中，葉片也受到旋轉(zhuǎn)切線方向的力，這相當(dāng)于彎曲葉片的力。顯然，彎曲葉片對其疲勞壽命的貢獻(xiàn)更大。

此外，分子泵加速時功率大，內(nèi)部發(fā)熱嚴(yán)重，頻繁啟停(兩次啟動間隔30分鐘)會導(dǎo)致熱量積聚，導(dǎo)致分子泵內(nèi)部溫度過高，加劇軸承磨損。

根據(jù)工藝條件選擇合適的冷卻方式：

分子泵有三種冷卻方法:自然冷卻、強(qiáng)制風(fēng)冷和水冷。300l/s下面的分子泵可以在沒有氣體負(fù)荷的情況下自然冷卻；當(dāng)較大的分子泵或有一定的氣體負(fù)荷時，需要選擇強(qiáng)制風(fēng)冷（風(fēng)扇冷卻）；對于一些負(fù)載較大的應(yīng)用程序（例如CVD），或者不方便使用風(fēng)機(jī)的環(huán)境(如輻射環(huán)境)，需要采用水冷。

無論采用何種冷卻方式，分子泵的環(huán)境溫度應(yīng)保持在5~在35攝氏度之間，采用處理后的軟水進(jìn)行水冷，冷卻水的溫度和流量也要符合說明書的要求。

空檔滑行不可取：

當(dāng)分子泵工作時，轉(zhuǎn)速非常高（數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘）。在加速和減速過程中，不可避免地要經(jīng)過一些危險的共振頻率。在這些共振頻率下長時間運(yùn)行會增加軸承負(fù)載，從而增加分子泵故障的風(fēng)險。當(dāng)真空下自然停止泵（空檔滑動）時，由于真空下的空氣阻力很小，分子泵轉(zhuǎn)子需要幾十分鐘甚至幾個小時才能完全停止，其中共振頻率運(yùn)行時間相對較長。

一般建議在分子泵停機(jī)時，手動或通過專用充氣閥（VentValve），通過充氣口填充空氣/氮?dú)?，增加轉(zhuǎn)子阻力，使其快速停止；手動充氣時，注意控制充氣速度，使停機(jī)時間等于分子泵的啟動時間（根據(jù)泵的大小，一般為3）~10分鐘）。

大多數(shù)型號的分子泵也具有電磁制動功能（ActiveStop），可以在不破空的情況下快速停機(jī)。