由于渦輪分子泵的類型和型號多樣，每個泵的運行模式由制造商提供，渦輪分子泵的操作簡單，廉價的方法是同時啟動渦輪分子泵和前泵，當渦輪分子泵加速到正常速度時，也提前系統(tǒng)，在初始高壓強度泵階段，油蒸汽回流是不可能的。由于系統(tǒng)中的氣體處于粘性或?qū)恿鳡顟B(tài)，因此排放氣體的密度可以阻止任何碳氫化合物的分子返回到渦輪分子泵。當達到分子流狀態(tài)時，渦輪分子泵已進入正常運行速度，在泵高壓縮比下運行時，可以防止油蒸汽的回流。

渦輪分子泵的前級泵由一個電動開關控制，兩個泵可以同時啟動和停止。

在一些快速循環(huán)系統(tǒng)中，由于時間短，沒有足夠的時間使渦輪分子泵在每個循環(huán)中達到正常運行速度。在這種情況下，渦輪分子泵不能根據(jù)工作周期定期打開。此時，渦輪分子泵必須連續(xù)運行。前泵粗抽真空室可快速達到渦輪分子泵的啟動壓力，主閥可快速打開。渦輪分子泵可以在相對較高的壓力下工作（節(jié)省時間），也可以減少粗抽管的回流。

如果系統(tǒng)需要粗抽管，如果操作不當，可能會出現(xiàn)回流問題。如果系統(tǒng)的粗抽壓力過低，粗抽管內(nèi)會出現(xiàn)分子流態(tài)。然后粗泵的油蒸汽可能會返回真空室。當壓力小于100~200時μmHg（13.33～26.66Pa）這種回流就會出現(xiàn)。

當真空室粗泵合適時，關閉粗泵閥，粗泵繼續(xù)運行時，粗泵管中的壓力降低，出現(xiàn)分子流狀態(tài)。碳氫化合物會回流并凝結(jié)在粗泵閥蓋或閥門密封處。當粗泵閥再次打開時，這些冷凝器可能會離開閥蓋或密封件，流回真空室的一側(cè)。這些油蒸汽將在下一個高真空循環(huán)中遷移到真空室并受到污染。

為了解決粗泵引起的回流問題，主要是為了避免前管道中的分子流態(tài)，防止油蒸汽回流。當前管道達到前壓力時，關閉粗泵閥（用充氣閥和可控漏孔），然后關閉粗泵泵。因此，然后關閉粗泵泵。因此，在粗泵管道中不可能出現(xiàn)分子流態(tài)，以防止回流。

使用渦輪分子泵時，通常不需要粗抽管。例如，在快速循環(huán)系統(tǒng)中，可以選擇那些耐大氣沖擊的渦輪分子泵，而不需要粗抽管。真空室可以在大氣壓下直接抽真空。