分子泵是一種真空泵，它利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動(dòng)量傳遞到氣體分子，以獲得方向速度，從而將其壓縮并驅(qū)動(dòng)到上層排氣口。

維護(hù)分子泵的操作要求：

1.分子泵氣體回路接口的快速連接法蘭螺釘應(yīng)向上，防止空氣泄漏造成松弛；

2.分子泵不能在大氣中打開(kāi)，必須達(dá)到10Pa時(shí)間打開(kāi)。打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥，啟動(dòng)分子泵；

3.當(dāng)M2（方框2）或M如果真空度不到位，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否工作正常；

4.打開(kāi)分子泵前，必須先打開(kāi)冷卻水閥。冷卻水閥必須在分子泵葉輪停止后關(guān)閉；

5.每次停機(jī)后，必須對(duì)每個(gè)分子泵的入口進(jìn)行清潔，以保持其清潔，避免不必要的損壞；

6.警告信息出現(xiàn)時(shí)“EF”檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)槍檢查。在再次打開(kāi)分子泵之前，請(qǐng)確保水道暢通。當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。

7.當(dāng)分子泵出現(xiàn)故障無(wú)法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，備用分子泵在手動(dòng)充滿空氣后更換；

8.檢查前級(jí)泵和電磁閥在分子泵未啟動(dòng)時(shí)是否正常工作；

9.當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí)，必須按照故障提示進(jìn)行處理。

該分子泵的維護(hù)可分為：
      1）牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)子碰撞，獲得動(dòng)量，并驅(qū)動(dòng)到泵出口。
      2)渦輪分子泵通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片和固定固定葉片提取。這種泵通常以分子流動(dòng)的狀態(tài)運(yùn)行。
      3)復(fù)合分子泵是一種由兩個(gè)渦輪泵和牽引泵串聯(lián)組成的復(fù)合分子真空泵。